原標題：感知利器｜MEMS垂直梳齒微鏡面驅動(dòng)器制作方法
工欲善其事，必先利其器。在全球化的今天，專(zhuān)利已不僅僅是創(chuàng )新的一種保護手段，它已成為商業(yè)戰場(chǎng)中的利器。麥姆斯咨詢(xún)傾情打造MEMS、傳感器以及物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域的專(zhuān)利運營(yíng)平臺，整合全產(chǎn)業(yè)鏈知識產(chǎn)權資源，積極推動(dòng)知識產(chǎn)權保護與有效利用。
全新的博世交互式激光投影微型掃描儀BML050
全球領(lǐng)先的制造商博世在2017年移動(dòng)通信世界大會(huì )上，推出了一款集成微型紅外掃描器和激光投影儀的組合產(chǎn)品BML050，能夠將任何物體表面變成虛擬用戶(hù)界面，該掃描儀包括兩個(gè)微型MEMS反射鏡，借此可將一個(gè)RGB彩色激光投射至所有表面，由此創(chuàng )建投影圖像。
利用MEMS微鏡的激光掃描技術(shù)除了應用于微型投影儀和抬顯（HUD）市場(chǎng)外，還可以應用于廣泛的新興市場(chǎng)和領(lǐng)域，例如AR/MR智能眼鏡、激光雷達（LIDAR）、智能激光車(chē)頭燈、生物醫療檢測影像掃描、人際交互感應以及3D深度攝像頭等領(lǐng)域。
據麥姆斯咨詢(xún)報道，此前，荷蘭的Innoluce公司利用MEMS微鏡技術(shù)開(kāi)發(fā)出了新的LIDAR系統，預計其激光雷達規?；慨a(chǎn)后的成本價(jià)格不超過(guò)100美元。由于該技術(shù)，2016年，汽車(chē)半導體巨頭英飛凌收購了Innoluce公司。
而對基于MEMS微鏡的激光掃描技術(shù)感興趣的巨頭，遠不止英飛凌一家。2012 年， MEMS行業(yè)巨頭意法半導體收購了以色列bTendo公司，獲得這家公司的靜電驅動(dòng)一維MEMS激光掃描投影技術(shù)。2015年，英特爾并購瑞士Lemoptix公司，現在已經(jīng)將這家公司的MEMS激光掃描芯片應用于自己的Remote EyeSight增強現實(shí)（AR）智能眼鏡。根據市場(chǎng)研究公司IHS Markit的預測，2017年至2020年間，全球MEMS掃描鏡市場(chǎng)營(yíng)收規模的復合年均增長(cháng)率可達18%。
【推薦發(fā)明專(zhuān)利】
《MEMS垂直梳齒微鏡面驅動(dòng)器的制作方法》
【技術(shù)背景】
基于MEMS技術(shù)制作的微鏡面驅動(dòng)器有很多驅動(dòng)方式，例如靜電驅動(dòng)方式、壓電驅動(dòng)方式等。其中，采用靜電驅動(dòng)方式的MEMS微鏡面驅動(dòng)器由于具有結構簡(jiǎn)單、與微電子制作工藝兼容性好、可大批量制造、體積小等優(yōu)點(diǎn)而受到廣泛關(guān)注。
靜電驅動(dòng)的微鏡面驅動(dòng)器通常有平板驅動(dòng)結構和梳齒驅動(dòng)結構。在梳齒驅動(dòng)結構中，微鏡面可以在較小的驅動(dòng)電壓下獲得較大的扭轉角度或者微鏡運動(dòng)量。因此，在應用中，相對平板驅動(dòng)結構，梳齒驅動(dòng)結構具有更大的優(yōu)勢，但其結構相對更為復雜，且制作難度也更大。
【發(fā)明內容】
現有技術(shù)中，體硅微機械技術(shù)在制作垂直梳齒微鏡面驅動(dòng)器時(shí)，由于需要制作高低交錯的立體垂直梳齒結構，因此較難控制上下垂直梳齒的光刻對準，并且在釋放上下垂直梳齒時(shí)工藝制作難度大，成品率低。
本發(fā)明提出了一種新型的MEMS垂直梳齒微鏡面驅動(dòng)器的制作方法，主要是利用具有雙層硅器件層的SOI硅結構，并利用雙層掩膜，制作出自對準的高低交錯的垂直梳齒結構，同時(shí)利用雙拋硅片和SOI硅結構進(jìn)行硅硅鍵合簡(jiǎn)化垂直梳齒結構的釋放工藝。
本發(fā)明具有如下優(yōu)點(diǎn)：
1、本發(fā)明在制作垂直梳齒時(shí)，創(chuàng )造性地提供了厚度不等的雙層掩膜，可以很容易地制作出具有自對準高低梳齒結構的垂直梳齒微鏡面驅動(dòng)器，同時(shí)制作難度小，成品率高；
2、本發(fā)明技術(shù)方案優(yōu)選地采用了具有雙層硅器件層的SOI硅結構，可以精確地控制上下垂直梳齒的厚度；
3、本發(fā)明技術(shù)方案采用了雙拋硅片和SOI硅結構片再次進(jìn)行硅硅鍵合以簡(jiǎn)化垂直梳齒結構的釋放工藝。
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