MEMS是Micro-Electro-Mechanical System的縮寫(xiě)，中文名稱(chēng)是微機電系統。MEMS芯片簡(jiǎn)而言之，就是用半導體技術(shù)在硅片上制造電子機械系統，再形象一點(diǎn)說(shuō)就是做一個(gè)微米納米級的機械系統，這個(gè)機械系統可以把外界的物理、化學(xué)信號轉換成電信號。這類(lèi)芯片做出來(lái)可以干嘛?最常用的是承擔傳感功能。在整個(gè)大的信息系統里有點(diǎn)類(lèi)似于人的感官系統，例如MEMS麥克風(fēng)芯片相當于人的耳朵，可以感知聲音;MEMS揚聲器芯片相當于人的嘴巴，可以發(fā)出聲音;MEMS加速度計、陀螺儀、磁傳感器芯片相當于人的小腦，可以感知方向和速度;MEMS壓力芯片相當于人的皮膚，可以感知壓力;MEMS化學(xué)傳感器相當于人的鼻腔，可以感知味道和溫濕度。沒(méi)有MEMS芯片的人工智能和萬(wàn)物互聯(lián)，就相當于沒(méi)有感官器官的人。
MEMS被認為是21世紀最有前途的技術(shù)之一，如果半導體微制造被視為第一次微制造革命，MEMS則是第二次革命。通過(guò)結合硅基微電子技術(shù)和微機械加工技術(shù)，MEMS具有革命性的工業(yè)和消費產(chǎn)品的潛力。
在此需要劃重點(diǎn)的是，MEMS是一種制造技術(shù)，諸如杠桿、齒輪、活塞、發(fā)動(dòng)機甚至蒸汽機都是由MEMS制造的。事實(shí)上，MEMS這個(gè)詞實(shí)際上有一定誤導，因為許多微機械設備在任何意義上都不是機械的。然而，MEMS又不僅僅是關(guān)于機械部件的微型化或用硅制造東西，它是是一種利用批量制造技術(shù)設計、創(chuàng )建復雜機械設備和系統及其集成電子設備的范例。再具化一點(diǎn)講，集成電路的設計是為了利用硅的電學(xué)特性，而MEMS則利用硅的機械特性，或者說(shuō)利用硅的電學(xué)和機械特性。
那MEMS傳感器又是什么?MEMS傳感器就是把一顆MEMS芯片和一顆專(zhuān)用集成電路芯片(ASIC芯片)封裝在一塊后形成的器件。左圖是一張典型的MEMS麥克風(fēng)內部構造的放大圖，圖內右邊的芯片是MEMS芯片，左邊的芯片是ASIC芯片。右圖是封裝后的MEMS麥克風(fēng)。
MEMS傳感器里最重要的就是MEMS芯片。MEMS芯片可以把外界的物理、化學(xué)信號轉換成電信號，而ASIC是把MEMS芯片產(chǎn)生的電信號進(jìn)一步處理和傳輸到下一級電路。沒(méi)有MEMS芯片，MEMS傳感器就是一個(gè)沒(méi)有靈魂的空殼。
