前一期介紹了集中MEMS常見(jiàn)的材料：硅、聚合物和金屬（鏈接：MEMS制造材料），今天說(shuō)一下陶瓷材料。
利用材料特性進(jìn)行有利組合，硅、鋁和鈦的氮化物（nitrides）以及碳化硅（siliconcarbide）和其他陶瓷越來(lái)越多地應用于MEMS制造中。陶瓷材料MEMS列表：
這個(gè)列表同時(shí)羅列出了一些應用技術(shù)。
氮化鋁（AlN）在纖鋅礦結構（wurtzite structure）中結晶，因此表現出熱電和壓電特性，例如使傳感器對法向力和剪切力敏感。
纖鋅礦結構（wurtzite structure）
TiN表現出高電導率（ electrical conductivity）和大彈性模量（elastic modulus），從而有可能用超薄梁結構（ultrathin beams）實(shí)現靜電MEMS驅動(dòng)方案。此外，TiN對生物的腐蝕具有高抵抗力，這樣就有足夠的條件在生物醫學(xué)環(huán)境中使用。
陶瓷MEMS的例子：MEMS生物傳感器的電子顯微鏡照片，MEMS生物傳感器在TiN接近底面的位置設計了一個(gè)50 nm厚度的可彎曲TiN懸臂。由于梁夾在字母X形的結構的中間，當光束向下彎曲時(shí)，復位力會(huì )增大，實(shí)現形變的功能。
（參考：M. Birkholz; K.-E. Ehwald; T. Basmer; et al. (2013). "Sensing glucose concentrations at GHz frequencies with a fully embedded Biomicro-electromechanical system (BioMEMS)". J. Appl. Phys. 113 (24): 244904–2449048. Bibcode:2013JAP...113x4904B. doi:10.1063/1.4811351. PMC 3977869. PMID 25332510）
聚合物衍生的陶瓷（Polymer-derived ceramics，PDC）可以通過(guò)在惰性或反應性氣氛中對適當的前體（precursor）進(jìn)行熱處理來(lái)制備而無(wú)需任何添加劑。PDC具有出色的性能，包括對氧化和腐蝕的穩定性，以及在極高溫度下的抗結晶性和抗蠕變性。適宜于針對MEMS和生物醫學(xué)領(lǐng)域進(jìn)行設計和成型。
PDC可以用作薄涂層，也可以通過(guò)澆鑄以及光刻法（lithography）成型。光刻方法在CMi中得到利用，優(yōu)化和組合。形成的模具被進(jìn)一步處理，例如 通過(guò)兩次光子聚合（two photon polymerization，2PP）來(lái)增加功能，或在內部澆鑄前驅物之前涂上涂層以提高潤濕性（wettability）和脫模性（demoldability）。
材料之間是關(guān)聯(lián)的，并不是某一個(gè)材料完全勝任MEMS的整個(gè)工藝，陶瓷材料也結合的聚合物一同實(shí)現應用。
PDC加工路線(xiàn)允許通過(guò)多種方式來(lái)調整所得陶瓷的組成和微觀(guān)結構，從而調節機械或功能特性。從諸如聚硅氧烷（polysiloxanes）或聚硅氮烷（polysilazanes）的不同種類(lèi)的所謂的陶瓷前聚合物（preceramic polymers，PCP）開(kāi)始，可以添加填料、催化劑或引發(fā)劑。通過(guò)熱處理或紫外線(xiàn)照射（UV-irradiation），液態(tài)前體（liquid precursors）在交聯(lián)時(shí)轉變?yōu)槿诤系纳鳎?span style="color: green;">greenbodies）。隨后的熱解通常在惰性氣氛中在700°C至1600°C之間的溫度下進(jìn)行，將生坯轉變?yōu)闊o(wú)機（聚合物衍生的）陶瓷材料，例如碳氮化硅（SiCN）或碳氧化硅（SiOC）。
