大家好今天和大家一起聊一下MEMS傳感器，首先我們要了解一下什么是MEMS技術(shù)。MEMS就是Micro-Electro-Mechanical system微機電系統英文單詞的縮寫(xiě)，它是將微電子電路技術(shù)與微機械系統融合到一起的工業(yè)技術(shù)。他的尺寸范圍一般是在微米范圍，微機電系統由尺寸為1到100微米的部件組成。一般微機電設備的通常尺寸在20微米到1毫米之間。
接下來(lái)我們來(lái)了解一下利用MEMS技術(shù)生產(chǎn)制造出來(lái)的傳感器，為什么會(huì )有MEMS傳感器呢？因為對于做傳感器芯片的公司來(lái)說(shuō)，為了適應更智能化小型化需求，會(huì )利用MEMS技術(shù)來(lái)生產(chǎn)和設計一些傳感器，這樣傳感器的體積會(huì )更小，一般長(cháng)寬高都在毫米級別，在現代化的生活當中，其實(shí)我們身邊絕對少不了MEMS傳感器。比如我們使用的智能手機、智能手環(huán)、智能手表等，這些現代化的可穿戴設備里面都至少使用了MEMS加速度傳感器或者陀螺儀，有的甚至還會(huì )使用地磁傳感器。就拿我們比較熟悉的微信運動(dòng)步數來(lái)說(shuō)，他就是利用這些傳感器來(lái)檢測你的運動(dòng)狀態(tài)。所以說(shuō)MEMS傳感器已經(jīng)和我們的生活息息相關(guān)無(wú)處不在。
那MEMS傳感器有哪些部分組成呢？第一個(gè)肯定是必須要有一個(gè)MEMS單元；第二個(gè)ASIC電路；第三個(gè)解耦單元；第四個(gè)就是連線(xiàn)，需要把MEMS單元和ASIC電路連接起來(lái)；第五就是承載這些部分的PCB板。通過(guò)這些單元共同組成了一個(gè)MEMS傳感器。
市面上常見(jiàn)的MEMS傳感器，測量物體加速度的加速度傳感器、測量角速度的陀螺儀傳感器、可以將各種磁場(chǎng)及其變化的量轉變的電信號的地磁傳感器，以及氣壓傳感器、溫度傳感器、壓力傳感器、電場(chǎng)傳感器等。
實(shí)際應用當中，大部分情況都需要將這些傳感器結合在一起使用，組合成感知更加豐富的系統。例如蘇州邈航公司所生產(chǎn)的慣性測量單元就是結合了MEMS陀螺儀及加速度計?？梢酝瑫r(shí)輸出載體的角速度和加速度信息。結合陀螺儀、加速度計、磁羅盤(pán)、氣壓計、溫度計生產(chǎn)的航姿參考系統，可以提供載體航姿及航向信息。結合陀螺儀、加速度計、磁羅盤(pán)、氣壓計、溫度計、衛星接收機生產(chǎn)的組合導航系統，可以提供載體航姿、航向。位置等信息。與傳統的產(chǎn)品相比利用MEMS技術(shù)生產(chǎn)的設備擁有體積小、重量輕、功耗低、可靠性高等特點(diǎn)。已廣泛應用于可穿戴設備、無(wú)人機、無(wú)人船、無(wú)人車(chē)、機器人等領(lǐng)域。
