MEMS傳感器將是未來(lái)傳感器最重要的類(lèi)型之一，許多傳統感測傳感器都在不斷MEMS化。
本文整理了中國主要的MEMS傳感器芯片產(chǎn)線(xiàn)和最新進(jìn)展情況，信息截止2022年1月，是目前最齊全的MEMS產(chǎn)線(xiàn)生產(chǎn)信息盤(pán)點(diǎn)。主要有企業(yè)IDM產(chǎn)線(xiàn)、代工產(chǎn)線(xiàn)、中試線(xiàn)、研發(fā)平臺等，共計33條MEMS傳感器芯片產(chǎn)線(xiàn)信息。
1、美新半導體 （IDM）
美新半導體（MEMSIC）是全球領(lǐng)先的慣性MEMS傳感器及解決方案提供商，于1999年成立, 目前總部位于中國天津，2007年在美國納斯達克上市，是全球MEMS第一股。
美新半導體在無(wú)錫建有8英寸MEMS磁、慣性傳感器封測產(chǎn)線(xiàn)。2021年7月，據紹興濱海新區管委會(huì )公示公告，美新半導體將在紹興建設MEMS磁傳感器生產(chǎn)線(xiàn)及加速度傳感器工藝開(kāi)發(fā)實(shí)驗線(xiàn)，該產(chǎn)線(xiàn)預計年產(chǎn)6億顆MEMS芯片。
2、賽微電子 （代工）
賽微電子2015年在深交所創(chuàng )業(yè)板上市，重點(diǎn)發(fā)展MEMS工藝開(kāi)發(fā)與晶圓制造業(yè)務(wù)，2016年全資收購瑞典MEMS芯片制造商SilexMicrosystemsAB，提供壓力、慣性、紅外、微鏡、光開(kāi)關(guān)、硅麥克風(fēng)等多種MEMS工藝開(kāi)發(fā)及晶圓制造的服務(wù)。
根據半導體市場(chǎng)研究機構Yole Development統計的2020年數據，Silex Microsystems AB 在全球MEMS純晶圓代工排名中位居第一，全球MEMS芯片代工市場(chǎng)（不包含IDM廠(chǎng)商自身制造部分的統計）的占有率約為8%。
同年，引入戰略股東北京集成電路制造和裝備股權投資基金，在北京啟動(dòng)建設8英寸MEMS國際代工線(xiàn)建設項目。
2021年6月北京8英寸MEMS產(chǎn)線(xiàn)（北京FAB3）一期建成生產(chǎn)，目前月產(chǎn)約1萬(wàn)片。FAB3二三期工程正在進(jìn)行，全部投產(chǎn)后，預計FAB3總產(chǎn)能達3萬(wàn)片每月。
2021年10月賽微電子旗下Silex專(zhuān)項技術(shù)出口許可申請被瑞典當局否決，賽微電子將無(wú)法通過(guò)子公司Silex獲取相關(guān)MEMS技術(shù)，需要自主獨立探索后續MEMS技術(shù)細節。
▲賽微電子董事長(cháng)楊云春手持北京FAB3生產(chǎn)的8英寸MEMS麥克風(fēng)晶圓
3、東方微磁 （IDM）
湖北宜昌東方微磁有限公司是中國船舶重工集團公司第七一〇研究所全資子公司，是一家致力于磁學(xué)計量和中國磁電產(chǎn)業(yè)發(fā)展的高新技術(shù)企業(yè)，建有國防科技工業(yè)弱磁一級計量站、磁電子技術(shù)國家地方聯(lián)合工程實(shí)驗室、湖北省磁電子工業(yè)技術(shù)研究院，擁有國內第一條MEMS磁傳感器芯片生產(chǎn)線(xiàn)。
東方微磁的MEMS生產(chǎn)線(xiàn)2015年底全部調通，是國內首條可滿(mǎn)足工業(yè)化生產(chǎn)的磁芯片生產(chǎn)線(xiàn)，保守產(chǎn)能為1000片/月，每年至少可生產(chǎn)月2億顆芯片，共有濺射鍍膜、光刻、真空、測試等設備進(jìn)60臺。
4、昊潤科技 （IDM）
山東昊潤自動(dòng)化技術(shù)有限公司從事硅壓阻、硅電容OEM傳感器，通用型、智能型及行業(yè)專(zhuān)用型自動(dòng)化測控儀表的設計研發(fā)和規?；圃?。
2011年歐洲經(jīng)濟危機期間，昊潤科技收購芬蘭VTI公司3D-MEMS 硅電容傳感器全套生產(chǎn)線(xiàn)，并引進(jìn)其核心技術(shù)。因此，昊潤科技擁有自己的3D-MEMS技術(shù)和硅電容傳感器生產(chǎn)線(xiàn)，年生產(chǎn)規模1500萬(wàn)只。
5、中芯集成電路制造（紹興）（代工）
2018年3月由中芯國際、紹興市政府、盛洋集團共同出資設立中芯集成電路制造（紹興）有限公司。同年5月，總投資58.8億元的中芯集成電路制造（紹興）項目開(kāi)工奠基，該項目用地207.6畝，新建14.65萬(wàn)平米的廠(chǎng)房，建設一條集成電路8寸芯片制造生產(chǎn)線(xiàn)和一條模組封裝生產(chǎn)線(xiàn)。
中芯國際的MEMS方案主要集中在MEMS麥克風(fēng)、加速度計、陀螺儀、壓力、顯微鏡、超聲波傳感器、射頻器件。
中芯集成一期規劃10萬(wàn)片8英寸晶圓月產(chǎn)能。于2020年1月正式投產(chǎn)，5年內持續投資近60億人民幣建設達產(chǎn)，形成芯片年出貨51萬(wàn)片和模組年出貨19.95億顆的產(chǎn)業(yè)規模，規?；慨a(chǎn)麥克風(fēng)、慣性、射頻、MOSFET以及IGBT等產(chǎn)品的芯片和模組，實(shí)現年銷(xiāo)售收入達40億人民幣，稅收4.1億元，凈利2億元。
2020年第四季度一期產(chǎn)能擴產(chǎn)至每月4萬(wàn)片晶圓，近期其成功完成晶圓設備鏈調試，8英寸晶圓月產(chǎn)能增至7萬(wàn)片，良品率達99%。
▲中芯集成電路制造（紹興）廠(chǎng)房
6、上海先進(jìn)半導體（代工）
上海先進(jìn)半導體前身是1988年中荷合資的上海飛利浦半導體公司，經(jīng)過(guò)多次改制后，2019年被上海積塔半導體吸收合并，改制為上海先進(jìn)半導體制造有限公司。
先進(jìn)半導體由傳統模擬芯片代工廠(chǎng)轉型MEMS代工， 目前有5英寸、6英寸、8英寸晶圓生產(chǎn)線(xiàn)，MEMS生產(chǎn)線(xiàn)可以代工的器件包括：三軸陀螺 儀、加速度計、生物MEMS芯片、光學(xué)MEMS、RFMEMS、微流體開(kāi)關(guān)、壓力傳感器等，可被廣泛應用于消費電子、醫療電子以及汽車(chē)電子等領(lǐng)域。
目前，該MEMS生產(chǎn)平臺擁有世界最先進(jìn)的深槽刻蝕、鍵合、硅片邊緣修整等設備，設計月產(chǎn)量可達3000片。
▲上海先進(jìn)半導體
7、華潤微電子（IDM&代工）
華潤微電子是2002年華潤集團收購華晶集團改組而成，總部位于無(wú)錫，擁有3條6英寸線(xiàn)，其中MEMS產(chǎn)線(xiàn)是國內規模最大的與CMOS生產(chǎn)線(xiàn)兼容的MEMS傳感器量產(chǎn)生產(chǎn)線(xiàn)，具有國內領(lǐng)先水平的 MEMS 表面和體硅加工技術(shù)，用于制造壓力、硅麥克風(fēng)、光電、溫濕度等MEMS傳感器。
華潤微電子8吋MEMS的3000片/月產(chǎn)能擴充已經(jīng)完成，并投入使用。光電及MEMS麥克風(fēng)工藝平臺從6英寸升級到8英寸，實(shí)現批量生產(chǎn)，產(chǎn)品性能及良率水平優(yōu)秀；整體提升了其MEMS工藝技術(shù)水平和競爭能力。
▲華潤微電子
8、華虹宏力（代工）
華虹由原上海華虹NEC電子有限公司和上海宏力半導體制造有限公司合并而成，自建設中國大陸第一條8英寸（200mm）集成電路生產(chǎn)線(xiàn)起步，華虹宏力在上海金橋和張江共有三座8英寸晶圓廠(chǎng)（華虹一廠(chǎng)、二廠(chǎng)及三廠(chǎng)），月產(chǎn)能約18萬(wàn)片。
在8英寸制造平臺上，華虹實(shí)現MEMS器件與標準CMOS工藝及生產(chǎn)線(xiàn)的全兼容。已流片的產(chǎn)品包括磁力計、加速度計、壓力傳感器等。
▲上海華虹宏力三廠(chǎng)
9、德?tīng)柹?（IDM）
德?tīng)柹瘓F是一家中德合作的高新技術(shù)企業(yè)，集團總部與產(chǎn)品設計中心位于德國法蘭克福和中國南京。
德?tīng)柹c南京市共同建立江蘇MEMS智能傳感器研究院，投資1.04億元建有基于德國CIS研究院技術(shù)的MEMS壓力傳感器芯片產(chǎn)線(xiàn)。
10、英特神斯科技 （代工）
江蘇（南京）英特神斯科技有限公司是全球MEMS軟件巨頭美國Intellisense的中國戰略研發(fā)機構，在江蘇南京建有MEMS傳感器芯片工藝線(xiàn)，與北京大學(xué)、清華大學(xué)、中國科學(xué)院等眾多科研機構建立了戰略合作關(guān)系。
11、力盛芯 （IDM）
力盛芯（洛陽(yáng)）電子科技公司是由臺灣LED產(chǎn)業(yè)之父石修投資建立的企業(yè)，主要生產(chǎn)微機電工藝傳感器、硅基微型聚光斗芯片和微機電工藝集成電路代工制造三大類(lèi)產(chǎn)品。2017年總投資9億元，約5萬(wàn)平方米的8英寸MEMS芯片廠(chǎng)正式投產(chǎn)。
12、浙江芯動(dòng)科技（代工）
浙江芯動(dòng)科技有限公司位于浙江省嘉興市，是一家專(zhuān)注高端MEMS代工并擁有自主知識產(chǎn)權的生產(chǎn)加工企業(yè)，是納杰微電子旗下公司。
芯動(dòng)科技擁有先進(jìn)的6英寸MEMS芯片產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線(xiàn)，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全過(guò)程，生產(chǎn)壓力、加速度計、陀螺儀，光鏡和生物醫學(xué)等MEMS傳感器芯片產(chǎn)品。
芯動(dòng)科技目前已投入1億多用于產(chǎn)線(xiàn)的建設，計劃聯(lián)合資本方在未來(lái)2-3年投入5億元人民幣繼續完善制造基地的相關(guān)設備設施。該基地目前建筑面積為3000平方米，是中國最先進(jìn)的MEMS器件加工平臺之一，具備芯片制造、封裝測試等一系列的能力。
▲浙江芯動(dòng)科技廠(chǎng)房
13、睿創(chuàng )微納（IDM）
睿創(chuàng )微納總部位于山東煙臺，是從事專(zhuān)用集成電路、紅外熱像芯片及MEMS傳感器設計與制造的企業(yè)。
睿創(chuàng )微納的8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線(xiàn)由公司與代工廠(chǎng)共建，已量產(chǎn)，月產(chǎn)能1500片晶圓。
2020年7月，與煙臺開(kāi)發(fā)區簽署協(xié)議，建設一條8英寸MEMS工藝線(xiàn)和一條化合物半導體工藝線(xiàn)。其中，化合物半導體芯片工藝線(xiàn)面向半導體激光器、光電探測器、微波器件以及功率器件；MEMS工藝線(xiàn)面向高端光學(xué)MEMS器件、RF MEMS器件和慣性MEMS傳感器等。
▲睿創(chuàng )微納
14、罕王微電子（IDM&代工）
罕王微電子是一家以MEMS傳感器設計及制造生產(chǎn)為核心的高科技中美合資企業(yè)，總部位于遼寧省沈撫新區，系罕王集團控股子公司。
罕王微電子2016年收購美信旗下MEMS傳感器業(yè)務(wù)，2018年建成國內首條8英寸純MEMS規?；慨a(chǎn)線(xiàn)，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全流程，設計晶圓產(chǎn)能36萬(wàn)片/年。生產(chǎn)傳感器包括：陀螺儀、IMU慣性測量單元、射頻RF-MEMS及加速度、溫度、濕度、壓力、應力傳感器等。
15、河北美泰（IDM）
中國電子科技集團第十三研究所全資子公司，2015年中電十三所的6英寸SOI MEMS標準加工技術(shù)及在高性能MEMS 器件中的應用通過(guò)科技部組織的專(zhuān)家驗收。
6英寸SOI MEMS標準工藝和封裝技術(shù)用于MEMS陀螺儀、加速度計、振動(dòng)傳感器、碰撞傳感器、MEMS光開(kāi)關(guān)、VOA及壓力傳感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸產(chǎn)線(xiàn)月產(chǎn)能達到1萬(wàn)片。
16、廈門(mén)西人馬（IDM）
西人馬（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下西人馬聯(lián)合測控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）成立于2017年，是西人馬MEMS高端傳感器和芯片制造基地，占地70畝，建筑面積20000㎡，具有6000㎡的超凈車(chē)間和先進(jìn)微納米研究實(shí)驗室，配備8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能傳感器芯片產(chǎn)線(xiàn)和中國先進(jìn)的MEMS器件加工平臺。
西人馬19年11月獲得朗潤基金數千萬(wàn)A輪融資，20年一季度獲得A+輪的1億元人民幣融資，2021年3月獲B輪融資，發(fā)展迅速，西人馬已經(jīng)成為國內MEMS領(lǐng)域IDM芯片公司的鰲頭，紅外和壓力傳感器每日產(chǎn)量可以達到幾十萬(wàn)顆。
17、廣州奧松電子（IDM&代工）
奧松電子成立于2003年，專(zhuān)注于MEMS半導體工藝技術(shù)，是國內率先應用MEMS半導體工藝技術(shù)生產(chǎn)傳感器芯片的高新技術(shù)企業(yè)，也是廣東省MEMS領(lǐng)域集研發(fā)、設計、制造、封裝測試、終端應用為一體的MEMS智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈（簡(jiǎn)稱(chēng)IDM）企業(yè)。
2020年9月，廣州奧松電子有限公司6英寸MEMS半導體傳感器芯片生產(chǎn)線(xiàn)正式投入運營(yíng)，成功量產(chǎn)出溫濕度、流量、氣體、差壓、風(fēng)速等傳感器芯片。
奧松電子MEMS半導體生產(chǎn)線(xiàn)一期工程為500納米MEMS半導體工藝制程，生產(chǎn)設備約占整個(gè)投資規模的70%。根據規劃，2021年二期工程建成350納米制程工藝MEMS半導體生產(chǎn)線(xiàn)；2022年三期工程將建成180納米制程工藝MEMS半導體生產(chǎn)線(xiàn)；總項目全部建成投產(chǎn)后，每月流片規模將達到4萬(wàn)片，
2021年8月，奧松電子官網(wǎng)宣布對外開(kāi)放MEMS芯片代工業(yè)務(wù)，包括設備共享、技術(shù)支持、企業(yè)孵化等服務(wù)。
2021年4月奧松電子控股的全資子公司——奧松半導體（珠海）有限公司，將在珠海高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區建設8英寸先進(jìn)MEMS特色半導體IDM產(chǎn)業(yè)基地項目。該項目建成后，將成為國內先進(jìn)的MEMS芯片及智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群，提高M(jìn)EMS芯片的代工和量產(chǎn)能力。
18、諾思微系統（IDM）
諾思微系統位于天津，是一家無(wú)線(xiàn)設備射頻前端MEMS濾波芯片服務(wù)商，其產(chǎn)品主要采用薄膜體聲波諧振器(FBAR)技術(shù)以及硅襯底的微機電系統(MEMS)制造技術(shù)，同時(shí)為無(wú)線(xiàn)射頻濾波器、雙工器、和多工器等提供解決方案。
諾思微已投產(chǎn)一條6英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線(xiàn)和一條4英寸工藝研發(fā)線(xiàn)。廠(chǎng)房和研發(fā)中心總占地面積2.7萬(wàn)平方米。
2021年3月，國家重點(diǎn)研發(fā)計劃制造基礎技術(shù)與關(guān)鍵部件重點(diǎn)專(zhuān)項項目硅基MEMS壓電薄膜及器件關(guān)鍵技術(shù)與平臺的項目在諾思微系統啟動(dòng)，針對5G/6G無(wú)線(xiàn)通訊、物聯(lián)網(wǎng)等對射頻濾波器、智能傳感器提出新的技術(shù)要求，對實(shí)現晶圓級硅基MEMS壓電器件的大規模生產(chǎn)、擺脫我國目前關(guān)鍵MEMS壓電器件受制于人的局面，有重要意義。
2021年8月完成4億元融資，預計在一年內全面加速產(chǎn)能釋放，達年產(chǎn)20億顆濾波器芯片的產(chǎn)能規模。
19、多維科技（IDM&代工）
成立于2010年，總部在江蘇張家港，建設有完整的第四代磁傳感技術(shù)——隧道磁電阻（TMR）的磁性感應芯片產(chǎn)線(xiàn)。
多維科技的磁傳感器晶圓代工廠(chǎng)擁有6英寸和8英寸MEMS晶圓產(chǎn)線(xiàn)，提供完整的磁傳感器（AMR / GMR / TMR）開(kāi)發(fā)及晶圓制造服務(wù)（包括設計、制造和測試），年產(chǎn)10億個(gè)TMR磁傳感器。
2021年5月多維科技獲4億元融資，將用于對現有產(chǎn)線(xiàn)進(jìn)行升級，能夠進(jìn)一步強化自研、自產(chǎn)、技術(shù)領(lǐng)先的核心競爭力。
20、湖南啟泰傳感科技（IDM）
2006年成立，總部在湖南瀏陽(yáng)。啟泰傳感以王國秋教授為首的科研團隊攻克了異質(zhì)膜關(guān)鍵工藝與技術(shù)，建設國內第一條金屬基薄膜力敏芯片——MEMS壓敏傳感芯片生產(chǎn)線(xiàn)，是世界上少數幾家具有金屬濺射薄膜壓敏芯片規?；a(chǎn)能力的公司之一。
2019年8月該生產(chǎn)線(xiàn)實(shí)現批量生產(chǎn)，年產(chǎn)壓敏傳感芯片50萬(wàn)顆，至2021年一期工程順利完工投產(chǎn)，用地面積35畝，建設總用地面積2萬(wàn)多平米，傳感器芯片年生產(chǎn)能力可達600萬(wàn)顆，傳感器封裝200萬(wàn)支，年產(chǎn)值可達10億元。
二期項目正在進(jìn)行，預計完工后，傳感器芯片產(chǎn)能將達2000萬(wàn)顆，傳感器封裝1000萬(wàn)支，年產(chǎn)值可達50億元。
21、高德紅外（IDM）
高德紅外創(chuàng )立于1999年，總部位于武漢，擁有8 英寸 0.25um 批產(chǎn)型 MEMS 生產(chǎn)線(xiàn)，是目前國內唯一一條自主可控且具備批產(chǎn)能力的非制冷紅外焦平面探測器生產(chǎn)線(xiàn)，已實(shí)現從 120×90 到 1280×1024 從低到高各類(lèi)面陣規格產(chǎn)品型號批產(chǎn)能力。
高德紅外目前已擁有3條8英寸紅外探測器產(chǎn)線(xiàn)，據2021年8月消息，年底將有新產(chǎn)線(xiàn)投產(chǎn)，并提高3~4倍產(chǎn)能。
22、武漢衍熙微器件（IDM）
武漢衍熙微器件擁有全國第一條8寸體聲波（BAW）量產(chǎn)線(xiàn)，具有先進(jìn)的光刻、薄膜、蝕刻以及封裝設備，并建立創(chuàng )新自主開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品生產(chǎn)流程。該產(chǎn)線(xiàn)主要產(chǎn)品有MEMS濾波器、雙工器等。
2018年，武漢衍熙微器件進(jìn)行項目擴建，一期為租賃現有廠(chǎng)房5600平方米，建設3600平方米的無(wú)塵室車(chē)間；二期計劃建設約10000平方米的無(wú)塵室車(chē)間，用于擴大生產(chǎn)。
23、杭州士蘭微電子（IDM）
杭州士蘭微1997年成立，是國內規模最大的集成電路芯片設計與制造一體（IDM）的企業(yè)之一。
自2010年開(kāi)始，士蘭微電子投入大量資金，通過(guò)對加速度傳感器、地磁傳感器、壓力傳感器等一系列傳感器產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)，在6吋、8吋芯片生產(chǎn)線(xiàn)上實(shí)現了批量制造能力，并建立自己的MEMS封測生產(chǎn)線(xiàn)，初步走通了系列傳感器的IDM發(fā)展之路，已申請相關(guān)發(fā)明專(zhuān)利百余項。
目前士蘭微MEMS傳感器產(chǎn)品系列豐富，有：MEMS加速度計、三軸AMR磁傳感器、六軸慣性傳感器、高性能MEMS麥克風(fēng)、數字三合一傳感器、心率傳感器、高性能氣壓壓力傳感器等。
2021年7月30日，士蘭微發(fā)出資產(chǎn)重組公告，引入國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司，募集11億元。
24、蘇州固锝（IDM）
蘇州固锝成立于1990年，是國內二極管龍頭企業(yè)，旗下子公司明銳光電、明皜傳感、艾特曼電子等涉足MEMS傳感器IDM業(yè)務(wù)。
2010年固锝收購明銳光電，明銳光電主要從事MEMS-CMOS三維集成制造平臺技術(shù)及八寸晶圓級封裝技術(shù)及產(chǎn)線(xiàn)和產(chǎn)品研發(fā)。
2011年成立明皜傳感，從事微機電傳感器芯片和器件的工藝開(kāi)發(fā)、設計。2021年8月，明皜傳感獲小米投資，注冊資本由 6443.64 萬(wàn)元人民幣增加至 7085.19 萬(wàn)元人民幣，增幅為 9.96%。
2021年6月，蘇州固锝與華景傳感合資成立華锝半導體，愿景是將華景傳感的MEMS麥克風(fēng)芯片設計技術(shù)與蘇州固锝的封測技術(shù)及生產(chǎn)經(jīng)驗相結合，逐步實(shí)現MEMS麥克風(fēng)在高端領(lǐng)域的進(jìn)口替代。
同月，華锝MEMS聲學(xué)傳感器及射頻濾波器封測項目落戶(hù)蘇州。項目一期產(chǎn)線(xiàn)將建立符合華為體系標準的MEMS聲學(xué)傳感器的封測基地，主要客戶(hù)有小米、科大訊飛等；二期將引入國內首創(chuàng )MEMS麥克風(fēng)及射頻濾波器的WLP晶圓級封裝產(chǎn)線(xiàn)，該晶圓級封裝為芯片流片工藝最后一道關(guān)鍵工藝，華锝將擁有自主晶圓級封裝相關(guān)自主技術(shù)知識產(chǎn)權。
25、沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院（中試線(xiàn)）
沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院傳感器國家工廠(chǎng)研究中心是我國唯一的國家級傳感器工程研究中心，在中國傳感器研發(fā)、生產(chǎn)、應用等方面有著(zhù)舉足輕重的地位。是我國傳感器標準起草牽頭單位、傳感器行業(yè)協(xié)會(huì )理事長(cháng)單位。
研究中心建有4英寸中試線(xiàn)，主要用于MEMS傳感器研發(fā)生產(chǎn)使用。
26、蘇州納米城（中試線(xiàn)）
蘇州納米城6英寸MEMS中試線(xiàn)由蘇州納米科技發(fā)展有限公司（蘇州工業(yè)園區政府出資）建設，是江蘇省十二五重大科技平臺項目。
蘇州6英寸微納機電制造（MEMS）中試線(xiàn)采用市場(chǎng)化、全開(kāi)放的運作模式，主要開(kāi)展MEMS產(chǎn)品工藝研發(fā)、MEMS加工、部分封裝測試、專(zhuān)利運營(yíng)、設備租賃、超凈場(chǎng)地租賃、工藝技術(shù)培訓等十多項專(zhuān)業(yè)服務(wù)，目前已成功導入壓力傳感器、微鏡傳感器、微流體傳感器等產(chǎn)品
27、蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所（中試線(xiàn)）
中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所由中國科學(xué)院與江蘇省人民政府、蘇州市人民政府和蘇州工業(yè)園區于2006年共同創(chuàng )建。研究所前瞻布局了電子信息、納米材料、生物醫學(xué)等重點(diǎn)研究領(lǐng)域，建設有用于MEMS器件研發(fā)使用的代工產(chǎn)線(xiàn)。
28、淄博高新區6英寸中試線(xiàn)
該產(chǎn)線(xiàn)由清華大學(xué)、淄博高新區MEMS研究院和國高(淄博)微系統科技有限公司共同完成。
是國內首條硅基4/6英寸兼容MEMS中試代工平臺，超凈規模國內一流；配備了國際一流設備的中試代工線(xiàn)，中試生產(chǎn)能力可達月產(chǎn)傳感器十萬(wàn)只，產(chǎn)品的測試環(huán)境也居國內先進(jìn)水平。
29、兵器214所（中試線(xiàn)）
蚌埠兵器214所智能傳感器創(chuàng )新中心已建成國家級微電子機械系統(MEMS)國家地方聯(lián)合工程實(shí)驗室和6英寸MEMS智能傳感器研制生產(chǎn)工藝線(xiàn)，具有設計、制造、封裝、篩選測試及應用的全產(chǎn)業(yè)鏈研制生產(chǎn)能力，擁有豐富的完全自主知識產(chǎn)權的MEMS技術(shù)，核心發(fā)明專(zhuān)利300余項，產(chǎn)品覆蓋高端慣性傳感器、壓力傳感器、光MEMS傳感器、流量傳感器以及氣體傳感器等，是國內MEMS龍頭企業(yè)和工信部傳感器一條龍示范企業(yè)。
30、中科院微電子所（中試線(xiàn)）
2016年由中科院微電子所設立的MEMS研發(fā)平臺，其8英寸MEMS中試線(xiàn)工藝穩定性達到98%；針對三軸重力加速度計、基于氧化釩的紅外圖像傳感器、醫用CT中X-ray探測、基于薄膜體聲波濾波器（FBAR）、MEMS紅外探測器等產(chǎn)品。
31、上海微技術(shù)工研院（中試線(xiàn)）
2017年，上海微技術(shù)工業(yè)研究院（以下簡(jiǎn)稱(chēng)工研院）構建的國內首條，全球領(lǐng)先，兼容CMOS的8英寸研發(fā)中試線(xiàn)正式投入運營(yíng)，月產(chǎn)量將達到3000件。
該產(chǎn)線(xiàn)部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關(guān)工藝和量測設備。作為國內第一條先進(jìn)8英寸研發(fā)中試線(xiàn)，SITRI的8英寸研發(fā)中試線(xiàn)不僅可承擔產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓、設備驗證等服務(wù)，有助于提升研發(fā)的成功率。
今年6月，上海微技術(shù)工研院宣布將8英寸線(xiàn)每年四分之一的總機時(shí)資助給上海大學(xué)，用于微電子學(xué)院教學(xué)實(shí)踐，為期5年。
32、中科院電子學(xué)研究所（研發(fā)平臺）
中國科學(xué)院電子學(xué)研究所（以下簡(jiǎn)稱(chēng)電子所）創(chuàng )建于1956年，現已并入中國科學(xué)院空天信息創(chuàng )新研究院，是我國第一個(gè)綜合型電子與信息科學(xué)研究所，設有傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點(diǎn)實(shí)驗室(北方基地)，建有用于MEMS研發(fā)使用的MEMS產(chǎn)線(xiàn)。
33、中科院上海微系統所（研發(fā)平臺）
中國科學(xué)院上海微系統所設有傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點(diǎn)實(shí)驗室(北方基地)，現有的MEMS技術(shù)平臺由微系統加工平臺和微系統封裝平臺兩部分組成，分別位于上海微系統所漕河涇園區內主樓的一層和二層凈化間內。
整個(gè)平臺擁有100多臺套先進(jìn)的大中型設備，總價(jià)值達1.1億元，可以完成從微芯片制造、芯片封裝、器件測試、微系統集成等成套工藝，為微系統研究提供有力的技術(shù)保障。
結語(yǔ)
從以上對33條中國MEMS傳感器芯片產(chǎn)線(xiàn)的介紹中，我們可以看到，許多MEMS產(chǎn)線(xiàn)均為近幾年才陸續投產(chǎn)，且規模普遍較小，產(chǎn)線(xiàn)產(chǎn)品單一，這也是我國目前高端MEMS傳感器芯片市場(chǎng)凄慘境況的一個(gè)側面。
因為每種類(lèi)型的MEMS傳感器具有一定的獨立性，這點(diǎn)區別于芯片的Fabless業(yè)務(wù)，擁有自己MEMS產(chǎn)線(xiàn)的企業(yè)在研發(fā)和生產(chǎn)傳感器上有天然的優(yōu)勢，而許多國際傳感器大廠(chǎng)往往也保留有自己的MEMS產(chǎn)線(xiàn)。
希望接下來(lái)中國MEMS傳感器芯片產(chǎn)線(xiàn)越開(kāi)越多！你看好中國高端MEMS傳感器的未來(lái)嗎？
