首先先來(lái)解釋什么是MEMS。Microelectromechanical Systems, 這個(gè)讓老美念起來(lái)都繞口的詞，中文叫做微機械機電系統。MEMS的飛速發(fā)展，是因為傳統機電工藝制成的驅動(dòng)器和傳感器，在體積、價(jià)格、產(chǎn)能上無(wú)法適應電子消費、工業(yè)界、科學(xué)研究乃至軍工的需求。上世紀80年代末，隨著(zhù)集成電路工業(yè)的迅速發(fā)展，把驅動(dòng)器和傳感器和集成電路芯片集成在一起， 就成為了科技發(fā)展的必然趨勢，這也就促成了MEMS的誕生。 【傳統機電工藝和MEMS的對比】 ——傳統的加速度計： Endevco 公司的壓電加速度計 體積比成年人的大拇指要大一點(diǎn)。如果再加上電路和讀出設備，一般需要一個(gè)手提箱才能帶著(zhù)走。再看價(jià)格和產(chǎn)能，壓電材料（常見(jiàn)的石英，陶瓷）需要很精確的傳統工業(yè)加工技術(shù)，無(wú)法批量生產(chǎn)，價(jià)格也是MEMS加速度計的上千倍。 ——傳統的陀螺儀： Northrop Grumman的軍用半球形陀螺儀 可以從圖中直觀(guān)的看出其和一個(gè)美元quarter硬幣的大小對比。為了保證性能，這樣一個(gè)陀螺儀的產(chǎn)量之低，和價(jià)格之高也是可想而知的。 那么現在問(wèn)題來(lái)了 - 我們總不能把這么大的加速度計和陀螺儀放在手機里面吧（除非我們都回到大哥大時(shí)代）。而正因為有了MEMS技術(shù)，我們手機里面的加速度計和陀螺儀可以變成是這樣小的體積： 【使用MEMS技術(shù)的好處】 列舉幾個(gè)最重要的： 大部分集成電路和MEMS的原材料是硅(Si)，這個(gè)神奇的VI族元素可以從二氧化硅中大量提取出來(lái)。而二氧化硅是什么？說(shuō)的通俗一點(diǎn)，就是沙子。沙子君在經(jīng)歷了一系列復雜的加工過(guò)程之后，就變成了單晶硅，長(cháng)這個(gè)樣子： 這個(gè)長(cháng)長(cháng)的大柱子，直徑可以是 1 inch (2.5 cm) 到 12 inch (30 cm)，被切成一層層 500 微米厚的硅片 （英文：wafer，和威化餅同詞），長(cháng)這個(gè)樣子： MEMS驅動(dòng)器和傳感器大部分都含有微機械機構。試想一下，我們要檢測一個(gè)一微米長(cháng)的彈簧移動(dòng)了一納米（微米尺度的懸臂梁在納米尺度的范圍內移動(dòng)），這種加工精度在傳統機械加工工藝上面是難以實(shí)現的。正因為有了MEMS技術(shù)，現在我們可以使數以萬(wàn)計的MEMS芯片（有些工藝也會(huì )把集成電路芯片放在同一步驟加工）出現在了每一片wafer上面，如下圖所示。 這種批量生產(chǎn)（batch process）的過(guò)程目前已經(jīng)全自動(dòng)化控制，隔離了人為因素，確保了每一個(gè)MEMS芯片之間的工藝誤差可以得到嚴格的控制，從而提高了良品率。切片、封裝之后，就成為了一個(gè)個(gè)的MEMS芯片。從外觀(guān)上來(lái)看，大部分的MEMS芯片和集成電路芯片是差不多的。 曾幾何時(shí)，微米和納米技術(shù)被稱(chēng)為了科技的代言詞，但大部分人根本不理解微米和納米技術(shù)是什么。其實(shí)對于MEMS傳感器來(lái)講，最大的優(yōu)勢是體積和表面積的比數值?。w積：表面積）。我們都知道體積是跟長(cháng)度的三次方，而面積是長(cháng)度的二次方。所以把一個(gè)MEMS器件等比例縮小的結果就是體積：表面積會(huì )縮小，這樣會(huì )使得MEMS器件的信噪比增加（也就是有好處）。 【MEMS民用工藝】 我覺(jué)得更常用的說(shuō)法應該是商用MEMS工藝。與其對應的還有軍用MEMS工藝，還有做科學(xué)研究用的科研MEMS工藝。 最成功的幾個(gè)商用MEMS工藝其實(shí)屈指可數： 圖： InvenSense的Nasiri工藝。其6軸慣性傳感器用在了目前最新的iPhone6 圖：Epson的壓電噴墨頭 圖：TI的DLP技術(shù) 圖：Bosch的BMP180芯片。左邊是ASIC電路，右邊是壓力傳感器?？梢钥吹?，壓力傳感器東南西北四個(gè)方向都有壓阻電阻，用來(lái)檢測硅薄膜受到壓力之后的形變。 MEMS的麥克風(fēng)也是近幾年才取代了過(guò)去磁感線(xiàn)圈式的麥克風(fēng)。以美國的Knowles和中國的歌爾聲學(xué)為主，MEMS麥克風(fēng)已經(jīng)基本替換了大部分手機中的傳統麥克風(fēng)。技術(shù)實(shí)現上也相對簡(jiǎn)單，其實(shí)就是一個(gè)打了很多孔的壓力傳感器。 圖：Knowles用在iPhone中的麥克風(fēng) MEMS現在應用廣泛、發(fā)展前景較好，但是它的可靠性和精度并不能達到某些傳統工藝的標準，所以在軍事和航天領(lǐng)域依然還是需要傳統工藝來(lái)解決問(wèn)題。
